@MASTERSTHESIS{ 2009:559848398,
 	title = {Processamento de moldes micro- e nanoestruturados para o crescimento de nanofios por meio de litografia de varredura por sonda},
 	year = {2009},
 	url = "http://tede2.pucrs.br/tede2/handle/tede/3140",
 	abstract = "Neste trabalho, foram estabelecidas rotinas reprodut?veis para o processamento de padr?es regulares em escala submicrom?trica em filmes finos polim?ricos utilizando a litografia de varredura por sonda (um dos modos de opera??o de um microsc?pio de varredura por sonda  SPM). Foram utilizadas sondas de sil?cio para realizar as matrizes de furos no modo de aragem din?mica (dynamic plowing). Ap?s, a ponta foi trocada para a visualiza??o das matrizes no modo de contato intermitente. As rotinas de padroniza??o foram aplicadas em filmes finos de PMMA de diferentes pesos moleculares e espessuras, depositados por spin coating, otimizando estes dois par?metros para a forma??o de m?scaras na forma de grade de furos. O di?metro e a profundidade dos furos e tamb?m a altura e largura das deforma??es aos seus arredores foram investigados em fun??o da for?a de intera??o e do tempo de a??o da sonda, bem como da espessura dos filmes e peso molecular dos pol?meros. Uma vez otimizados os procedimentos b?sicos, as rotinas desenvolvidas foram aplicadas no processamento de moldes para o crescimento de arranjos regulares de nanofios de ZnO.",
 	publisher = {Pontif?cia Universidade Cat?lica do Rio Grande do Sul},
 	scholl = {Programa de P?s-Gradua??o em Engenharia e Tecnologia de Materiais},
 	note = {Faculdade de Engenharia}
}