@PHDTHESIS{ 2023:110795202, title = {Otimiza??o de par?metros no processo de pulveriza??o cat?dica "Sputtering" em substrato particulado}, year = {2023}, url = "https://tede2.pucrs.br/tede2/handle/tede/11071", publisher = {Pontif?cia Universidade Cat?lica do Rio Grande do Sul}, scholl = {Programa de P?s-Gradua??o em Engenharia e Tecnologia de Materiais}, note = {Escola Polit?cnica} }